計測仕様
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計測項目
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発光形状、発光スペクトル、発光パワー
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計測受光条件
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NA:0.1、ワーキングディスタンス:15.7mm
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計測波長範囲
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350nm〜1,000nm
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計測光強度範囲
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約10nW〜100mW:ビーム形状やスペクトルにより変動します
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最大計測素子寸法/分解能
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約1.3mm×1.1mm、分解能1.0μm
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スペクトル計測分解能
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約1nm
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XYZステージ系
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構成
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光学系搭載XYステージ、試料搭載XYZステージ、試料ホルダ、ベース
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光学系搭載XYステージ
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移動量:XY±50mm
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試料搭載XYZステージ
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移動量:XY±6.5mm、Z±3.0mm読み取り分解能:10μm
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試料ホルダ
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標準:4ピンソケット(その他各種製作いたします)
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ベース
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300mm×450mm、全面にM4ネジを25mmピッチであけてあります、取っ手付き
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計測ソフトウェア
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発光形状
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ビーム幅、座標、ビーム面積、主軸傾き、Xプロファイル、XYプロファイル、二次元プロファイル、三次元プロファイル
等
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発光スペクトル
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ピーク波長、重心波長、スペクトル幅、スペクトルプロファイル
等
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発光パワー
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瞬間パワー値、最大値、最小値、平均値、パワーの時間的変化
等
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動作環境
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USB2.0ポートを有するWindows XP PC、ソフトウェアインストール用CDROMドライブ
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標準構成
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同軸光学系
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本体、×5倍対物レンズ、減光フィルタホルダ、減光フィルタ若干量、リング照明(電源含む)
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発光形状計測用カメラ
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本体、USBケーブル、サンプルプログラムCD
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スペクトル計測用分光器
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本体、光ファイバ、USBケーブル、サンプルプログラムCD
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パワー計測用光パワーメータ
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本体、Siパワーメータヘッド、USBケーブル、サンプルプログラムCD
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ソフトウェア
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計測解析ソフトウェアCD
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ステージ系
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光学系搭載XYステージ、試料搭載XYZステージ、試料ホルダ、ベース
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I-L-V計測オプション
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計測項目
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I-L、V-L、V-I計測
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電圧電流スイープ範囲
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0.01V〜38V/分解能10mV 0.001mA〜200mA/分解能1μA
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構成
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ソースメータ機能付き電源、USBケーブル、計測ソフトウェア
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